Нанолитография негіздері

  • Бұл пән материалдардың бетінде микро және наноқұрылымдарды құру принциптері мен әдістерін зерттеуге бағытталған. Ол фотолитография, катодты сәулелік литография және иондық сәулелік литография сияқты негізгі нанолитография технологияларын, сондай-ақ осындай құрылымдарды жобалау мен модельдеуге қатысты аспектілерді зерттеуді қамтиды. Курстың мақсаты - докторанттарда нанолитография әдістері және оларды әртүрлі салаларда қолдану туралы терең білімді қалыптастыру, сондай - ақ оларда микро және наноқұрылымдарды құруға байланысты мәселелерді талдау және шешу дағдыларын дамыту
  • Несиелер 5
  • Селективті тәртіп
  • Оқу жылы 1
  • Семестр 2
Top