Основы нанолитографии

  • Данная дисциплина направлена на изучение принципов и методов создания микро- и наноструктур на поверхности материалов. Она включает изучение основных технологий нанолитографии, таких как фотолитография, электронно-лучевая литография и ионно-лучевая литография, а также аспекты, связанные с проектированием и моделированием таких структур. Цель курса – формирование у докторантов глубоких знаний о методах нанолитографии и их применения в различных областях, а также развитие у них навыков анализа и решения задач, связанных с созданием микро- и наноструктур
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 1
  • Семестр 2
Top