RU

Литография процестеріне кіріспе

  • Бұл пәнде магистранттар литография процестерінің негізгі аспектілерін - фоторезисттердің түрлерін, фоторезистерді қолданудың, алып тастаудың дәйекті кезеңдерін, оюды, көп қабатты фотолитографияны, күн энергетикасында фотолитографияны қолдануды зерттейтін болады. Курстың мақсаты магистранттарды микро және наноэлектрондық құрылғыларды жасау процесінде қолданылатын литографияның негізгі принциптері мен әдістерімен таныстыру, сондай - ақ литографиялық процестерді жоспарлау және оңтайландыру дағдыларын дамыту болып табылады.
  • Образовательная программа 7M07108 Наноматериалдар және нанотехнологиялар (қолдану саласы бойынша)
  • ВУЗ Қазақстан-Британ техникалық университеті
  • Несиелер 5
  • Селективті тәртіп
  • Оқу жылы 1
  • Семестр 2
Top