Физика тонких пленок и нанотехнология

  • Цель дисциплины: Исследование структуры атомов и молекул с точки зрения квантовой механики, анализ физических процессов взаимодействия ионизирующего и неионизирующего излучения с материалами; расчет и измерение этих параметров. В ходе изучения курса сформировать у магистрантов способности: 1. понимать различия в структуре покрытий и наноматериалов; 2. использовать методы нанесения тонких пленок с помощью оптимальных конструкций оборудования; 3. анализировать влияние тонких пленок на формирование структуры и свойств покрытий; 4. оценивать влияние параметров процесса на структуру и свойства составных наноматериалов; 5. определять основные параметры механических, электрических, оптических, коррозионных свойств тонких пленок и наноматериалов. При изучении дисциплины магистранты будут изучать следующие аспекты: Микроструктуры тонких пленок и наноматериалов. Процессы и технология физического осаждения паров. Лазерное испарение / Лазерная абляция / Импульсное лазерное осаждение. Процессы и технология химического осаждения из паровой фазы. Химическое и электрохимическое осаждение. Подготовка поверхности к процессам осаждения пленки. Контроль процесса осаждения. Нуклеация, рост пленки и микроструктурная эволюция. Методы роста наноматериалов. Свойства тонких пленок и наноматериалов
  • Образовательная программа 7M05307 Техническая физика (КTU)
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 2
  • Семестр 3
Top