Пучковые и плазменные технологии

  • Дисциплина направлена на изучение взаимодействия частиц плазмы,пучков ускоренных ионов и электронов, с поверхностью твердого тела широко используемые в различных научно-исследовательских областях,плазмы – четвертого состояния вещества,методов получения и измерения вакуума,центров окраски в оптических средах,плазменных технологии в наноэлектронике,технологии плазмохимической очистки и травления материалов.
  • Кредитов 6
  • Селективная дисциплина
Top