Методы измерения свойств материалов электронной техники

  • Материалы для электроники и микро- и наноэлектроники. Металлы, полупроводники, диэлектрики. Критерии, предъявляемые к материалам для устройств электроники. Дефекты в металлах, полупроводниках и диэлектриках; методы измерений удельного сопротивления, эффекта Холла и подвижности в полупроводниках и диэлектриках; двухзондовый метод, четырехзондовый метод; методы измерения ЭДС—Холла, сопуствующие эффекты, магниторезистивный эффект, методы измерений; измерение морфологии поверхности твердых тел: эллипсометрия, микроинтерферометрия, сканирующая туннельная микроскопия; дифракционные методы: Оже-эффект, Оже-спектроскопия, рентгеновская дифрактометрия.
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 4
Top