Методы измерения параметров электронной техники

  • Спектрометрические методы измерения: эллипсометрические измерения и аппаратура для их проведения, принципы эллипсометрических измерений; спектрофотометры для инфракрасной области спектра; электрофизические методы измерения: зондовые методы, основы C-V-метода; электронная микроскопия, принцип работы электронного микроскопа, дифракция электронов, микродифракция; фигуры (линии) Кукучи, темнопольная микроскопия; растровая электронная микроскопия, метод сканирования и качество изображения, принцип работы растрового электронного микроскопа; рентгеновский спектр, его структура, механизмы взаимодействия рентгеновского излучения с твердым телом.
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 4
Top