Микроэлектромеханические системы и элементы

  • Целью дисциплины является получение теоретических знаний и практических навыков по схемотехнике и производству МЭМС. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе взаимосвязанные механические и электрические компоненты микронных размеров. Микроэлектромеханические системы состоят из механических элементов, датчиков, электроники, приводов и устройств микроэлектроники, расположенных на общей кремниевой подложке. В ходе изучения дисциплины студент освоит принципы построения и схемотехнику МЕМС, а также освоит различные технологии производства МЭМС
  • Образовательная программа 6B07109 Приборостроение
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 4
  • Семестр 1
Top