Наноструктурные покрытия и технологии нанесения покрытий

  • Цель: формирование знаний о физике процесса напыления и роста пленок; взаимосвязи физических свойств тонких пленок и покрытий с их структурными особенностями; методах формирования наноструктурных покрытий и пленок. Содержание. Закономерности и процессы формирования тонких пленок. Материалы тонких пленок и наноструктурных покрытий. Рост пленок от зародышей до сплошного покрытия. Послойный и спиральный рост пленок. Методы получения наноструктурных покрытий. Термическое вакуумное напыление. Нанесение наноструктурных углеродных покрытий. Электролитическое осаждение. Магнетронное распыление металлов. Оборудование и режимы нанесения покрытий. Исследование структуры покрытий и их дефекты.
  • Образовательная программа 7M07120 Машиностроение
  • Кредитов 6
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 2
  • Семестр 1
Top