Физика наносистем

  • Целью данной дисциплины является обобщающее знание о физике и физических свойствах наносистем и наноструктур, раскрывающее закономерности в технологии формирования многослойных, планарных и самоподдерживающихся структур микро- и наноэлектроники; разработка методов и аппаратуры для диагностики структур микро- и наноэлектроники; технологии формирования пленок и их травления; электрические и оптические свойства структур нанометровых размеров.
  • Образовательная программа 7M07140 Наноматериалы и нанотехнологии
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 2
  • Семестр 1
Top