Технология полупроводниковых пленочных структур

  • Цель дисциплины: сформировать способность анализировать и применять широкий комплекс прикладных и теоретических вопросов синтеза пленочных полупроводниковых материалов для реализации технологического производства. Будут изучены: методика подготовки подложек к процессу синтеза полупроводниковых пленочных материалов, вакуумные технологии пленочных материалов, получение свободных монокристаллических пленок арсенида галлия и родственных соединений.
  • Кредитов 5
  • Год обучения 1
  • Семестр 1
Top