KZ

Введение в процессы литографии

  • На данной дисциплине магистрантами будут изучены основные аспекты процессов литографии - виды фоторезистов, последовательные этапы нанесения, снятия фоторезистов, травление, многослойная фотолитография, применение фотолитографии в солнечной энергетике. Целью курса является ознакомление магистрантов с основными принципами и методами литографии, используемой в процессе изготовления микро- и наноэлектронных устройств, а также развитие навыков планирования и оптимизации литографических процессов.
  • Образовательная программа 7M07108 Наноматериалы и нанотехнологии (по областям применения)
  • ВУЗ Казахстанско-Британский технический университет
  • Кредитов 5
  • Селективная дисциплина
  • Год обучения 1
  • Семестр 2
Top